SJT 11259-2001 制冷机低温泵总规范
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ID： |
21F963068B5E4EFC9E3F3D7E09467910 |
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文件大小(MB)： |
0.16 |
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页数： |
9 |
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文件格式： |
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日期： |
2009-6-12 |
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ICS 31-550,L 97,各鑫县:9880-2002,中华人民共和国电子行业标准,SJ/t 11259- 2001,制冷机低温泵总规范,General specification for refrigerator cryopump,2002-01-31发布2002-05-01实施,中华人民共和国信息产业部发布,前言,本规 范 参 照GB7 774.G B7 776.G B/T6 070.G B/1'31 63制定，可用于指导该类产品的研制与,生产,本 规范 由 中国电子技术标准化研究所(CESI} 归口,本 规范 起 草单位:信息产业部合肥低温电子研究所,本 规范 主 要起草人:柳汉莹、赵东辉、徐友平、严善仓、田渠,中华人民共和国电子行业标准,制冷机低温泵总规范SJ/T 11259- 2001,General specification for refrigerator cryopump,范围,本 规 范 规定了制冷机低温泵的要求、试验方法、质量评定程序及标志、包装、运输、贮存,本 规 范 适用于制冷机低温泵的研制生产,2 引用标准,下 列 标 准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时，所示版,本均为有效。所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性,GB 1 91- 2000 包装储运图示标志,GB /T 3 1 63-93 真空技术术语,GB 5 08 0.7-86 设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验,方 案,GB /T 6 070-1995真空法兰,GB 7 7 74 -87 涡轮分子泵性能测试方法,GB 7 77 6-87 蒸汽流直中凳凳浦饭流率测试方法,3 定义,本 规 范 采用下列定义,3. 1 低温泵cryopump,利 用 低 温表面搜集气体的真空泵,3.2 制冷机低温泵refrigerator cryopump,用封 闭 循 环制冷机提供冷源的低温泵,3.3 降温时间cooldown time,从 室温 启 动制冷机至冷头温度达到20K 时所需的时间,3.4 极限压力ultimate pressure,泵装 有 标 准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力,3.5 抽气速率volume flow rate,体 积 流 率,当 泵 装 有标准罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的,平衡压力之比。简称泵的抽速,3.6 抽气容量capacity,中华人民共和国信息产业部2002-01-31批准2002-05-01实施,I,SJ/T 11259-2001,制冷机低温泵的抽速由最大下降至抽速(Smax/e)时所抽的气体量，又称排气童,分类与命名,命 名,制冷机低温泵系列产品型号命名由以下部分组成:,荃本型号辅助型号,国 一目国,国代表制冷机低温泵名称，以构成名称的两个关键字(低温、制冷)的汉语拼音第一个字母,DZ 表 示 ,~倒﹂曰川匕,4.1,4.2,代表制冷机低温泵的规格，以其泵口直径表示，见表1e,代表制冷机低温泵设计序号，从第一次改型设计开始，以字母A, B, C0.顺序表示,规格,制冷机低温泵泵口直径推荐尺寸见表,裹1 泵口直径,示例,泵口直径为200 mm,第三次设计改进的制冷机低温泵命名示例如下,设计序号,泵口直径，mm,制冷机低温泵代号,5 要求,5.1 工作环境条件,制冷 机 低 温泵工作环境条件如下:,a) 室 内运行:,b) 环 境 温度:00 C-400 C;,c) 相 对 湿度:<85%e,5.2 外观质t与尺寸,5.2.1 外观质f,制 冷 机 低温泵外观应光滑平整，无毛刺、裂纹等影响寿命和使用的缺陷.,5.2.2 尺寸,制 冷机 低 温泵的泵口直径应符合表1的规定,5.3 性能特性,5.3.1 降温时间,制 冷 机 低温泵的降温时间应符合表2的规定,5.3.2 极限压力,SJ/T 11259- 2001,5.3.3 抽速,制 冷 机 低温泵的抽速应符合表2的规定,5.3.4 抽气容f,制冷 机 低 温泵的抽气容It应符合表2的规定,54 安全性,5.4.1 制冷机低温泵必须配有压力安全装里,5.4.2 在正常工作条件下，制冷机低温泵的电源线与机壳之间的绝缘电阻应大于10 Mn.,5.5 可命性,制冷 机 低 沮泵平均故除间隔时间(MTBF)大于或等于10000h .,裹2 主要技术指标,项目,泵口直径,m 拍,100,16 0,(150),200 250 _320,(300),400,抽速,US,Hz0 2000 2500 4200 5 00 9500 10007,Nz/Ar 500/400 800/600 1500/1200 2200/1500 3000/2000 5000/3700,N2/He 500/150 1000/300 2000/600 4000/1200 5500/1700 5500/1700,抽气容里,P比,Ar / Nz 2x10-' 2.7x10' 8.10, 2xl0' 2jx100 3.10',H2 2.0.10' 4.0.10' 9.0.10, 2.5x 106 3x106 5x106,极限压力Pa 10-' 10'1 10-1 10-1 10-' 10-',降沮时间,n il n,‘80 (80 簇10 ‘ 100 (ISO 毛150,6 试验方法,6. 1 测试条件,6.1.1 在整个测试过程中，室温应为15 0C-25 0C,温度允许变化士I *C.,……
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